德国Fraunhofer IOF以激光为光源，测量角分辨散射ARS、BRDF、BTDF、散射损耗、反射、透射等；对表面、薄膜以及材料性质进行表征和分析；可进行在线或离线测量。

特征及参数

• 可测量参数：散射光（角分辨散射ARS，双向反射分布BRDF，双向透射分布BTDF，散射损耗），θ-2θ，反射，透射

• 全3D球面测量

• 入射角，散射角（方位角和极角）波长以及光源的偏振态均可调整

• 可对样品表面进行区域光栅扫描

• 桌面型系统（＜1m）

• 动态范围：15个数量级

• 等效噪声ARS：低至1×10-9 sr-1

• 相对粗糙度的分辨率：＜0.1nm

• 波长：320nm、405nm、532nm、633nm、640nm、808nm和1064nm（其他需求波长）

• 外部光源耦合的光纤端口（例如：可调超连续光源）

• 方便操作的测量及分析软件

• 可分析值：粗糙度，PSD等

应用

对表面，薄膜以及材料性质进行表征和分析

产品质量检测

光学性能分析

粗糙度分析