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法国Phasics波前传感器SID4 UV
高性价比高分辨率紫外波前传感器
Spectral Range 紫外(190 - 400 nm)
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Spectral Range 紫外(190 - 400 nm)

 

作为最低可至波长190 nm的高分辨率波前传感器,SID4 UV非常适合于紫外光学测量,包括用于光刻或半导体应用紫外激光表征,以及透镜和晶圆的表面面型检测。

 

  • 300 x 300高相位取样分辨率
  • 2 nm RMS高相位灵敏度
  • 紫外波段波前测量的通用解决方案

 

产品应用