Spectral Range 紫外(190 - 400 nm)

基于Phasics的专利技术，SID4 UV HR波前传感器可在190 nm至400 nm的紫外波段提高相位分辨率（512x 512取样分辨率）和高相位灵敏度（优于2 nm RMS）。 因此，SID4 UV HR非常适合用于光刻，半导体等领域的光学组件表征和表面面型检测（透镜和晶圆等）。

• 最低至190nm波长感光灵敏
• 2  nm RMS高相位灵敏度
• 512x 512高相位取样分辨率

产品应用

• 激光，自适应光学及等离子体检测
• 光学元件及光学系统计量