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010-68214292
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X-LDQ-AE 系列
线性电动位移台,集成控制器。
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  • 最小移动量50nm
  • 集成线性编码器提供高精度闭环伺服定位
  • 速度可达1.5m/s, 加速度为2g
  • 75, 150, 300, 450, 600 and 1000 mm 行程可选
  • 超过1000mm 行程,精度可达2.5 µm 
  • 内置控制器

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  • Zero backlash