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010-68214292
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X-LDM-AE 系列
线性电动位移台,集成控制器。
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  • 高重复性(80nm)和精度 (1 µm),最小移动量 25nm
  • 直接位置测量从1nm分辨率线性编码器
  •  速度可达1.2m/s 和3.5g 加速度
  • 60, 110, 210 mm 行程可选
  • 内置控制器
  •  非接触无铁超精密直线电机,高动态和零反弹
  • 直接安装在XY 轴

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