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弱吸收仪-LID光热偏转技术弱吸收仪
LID Absorption Measurement
弱吸收的意义在高功率激光系统中,光学镜片的膜层及体材料吸收较大的话会引起以下热透镜效应进而产生一系列问题:
1.如下图所示的焦距发生变化
2.波前畸变
3.退偏
4.膜层吸收是影响薄膜损伤阈值 的一个重要指标
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弱吸收仪测量意义
 

在高功率激光系统中,光学镜片的膜层及体材料吸收较大的话会引起以下热透镜效应进而产生一系列问题:
1.如下图所示的焦距发生变化
2.波前畸变
3.退偏
4.膜层吸收是影响薄膜损伤阈值 的一个重要指标

 

 

LID原理示意图
 

此系统采用光热偏转技术,用于测量透明光学材料及镀膜产品受到激光照射后产生的微弱吸收。在强激光照射下,材料内部由于吸收热能产生折射率梯度现象(热透镜效应),当一束探测光经过“热透镜”效应区域时发生位置偏移,通过PSD位移传感器测量其位置偏移量。

 

 

LID结构图


 

LID技术参数一览表

项目 LID
仪器原理 光热偏转技术
Pump激光器 UV到IR常见激光波长任选
光束质量要求不高,可以同时配置多台激光器
不同波长光路切换简单
Probe激光器 LD 640nm
仪器校准 电极校准 体吸收:样品中间钻孔放置棒型热敏电 面吸收:表面放置热敏电阻
测试项目 体吸收、HR及AR膜吸收

 

LID与PCI比较一览表

项目 LID
样品属性要求 任何未知样品或已知样品
测试结果 吸收系数是绝对值
区分面、体吸收 可以
样品规格 方形,且四面抛光(采用sandwich模块只需两面抛光);
圆形:厚度1mm,φ25.4mm min:3x3x3mm(采用sandwich模块)
通常:20x20x10mm
灵敏度 面吸收:0.1ppm 体吸收:0.1ppm/cm
测量速度 40min/片

 

LID校准-电极校准

采用电极校准得出校正因子Fcal, Ilid 为信号强度,Pl 为pump光功率。

特点:是无需了解样品材料的特性,便可提供独立校准。如果改变光热偏转系统装置,需要客户自己插入和连接校准样品,利用软件完成自动校准。

LID测量结果